北方华创“盖板托盘组件及半导体设备的工艺腔室”专利获授权

  天眼查显现，北京北方华创微电子配备有限公司近来获得一项名为“盖板托盘组件及半导体设备的工艺腔室”的专利，授权公告号为CN111863702B，授权公告日为2024年7月23日，请求日为2020年7月30日。

  本发明供给一种盖板托盘组件及半导体设备的工艺腔室，包含：托盘主体、盖板及中心介质，其间：托盘主体用于承载晶片；盖板设置于托盘主体上，在盖板上设置有压合部，压合部与晶片的边际触摸；中心介质设置于托盘主体与盖板之间，且中心介质的上外表和下外表别离与盖板和托盘主体触摸，用于使托盘主体与盖板之间构成一空间，以可以降低压合部与晶片之间的电势差。使用本请求，可以更好的降低压合部上外表与晶片上外表的鞘层电势差，以此来降低压合部和晶片的衔接处构成的电场偏转程度，防止形成现存技能中晶片压爪区域产生底部黏连，导致底宽过大、接近压爪边际图形对称性差等，继而有用改进了PPS工艺过程中的边际描摹问题。